Press Release
OPTIMAS fördert High-Tech-Forschung an der TU
By: Andrea von Haebler
Prof. Dr. Martin Aeschlimann, Sprecher von OPTIMAS, und TU-Präsident Prof. Dr. Helmut Schmidt (r.) neben der Beschichtungsanlage.
Neue HF-Magnetron-Sputteranlage zur Herstellung dünner Schichten
Heute hat OPTIMAS, das Landesforschungszentrum für Optik und Materialwissenschaft an der TU Kaiserslautern, ein neues halbautomatisches experimentelles Vakuum-Beschichtungssystem offiziell in Betrieb genommen. Im Rahmen eines Festakts wurde die hochmoderne Anlage vom Präsidenten der TU Kaiserslautern, Prof. Dr. Helmut Schmidt, eingeweiht.
Finanziert wurde die Anlage der Firma Oerlikon Leybold Vacuum (Köln) im Wert von 0,75 Millionen Euro durch das Landesforschungszentrum "Optik und Materialwissenschaften" (OPTIMAS). Mit der neuen Anlage können dünne Materialschichten auf nahezu beliebige Substrate abgeschieden werden. Die Anlage dient zur Herstellung von magnetischen, metallischen und dielektrischen Multilagen-Systemen.
Im Rahmen der Forschungsschwerpunkte von OPTIMAS sollen Schichtsysteme zur Erforschung von industriell nutzbaren magnetischen Mikro- und Nanostrukturen, neuen Materialien mit hoher Spinpolarisation und innovativer Spintronik eingesetzt werden.
Magnetron-Sputterdeposition ist eine universelle und auch industriell eingesetzte Technologie zur Herstellung von dünnen Schichten und Schichtsystemen. Da das aufzubringende Material durch Impulsübertrag und nicht thermisch verdampft wird, können auch empfindliche Materialien, insbesondere Legierungen, zerstäubt werden. Die beiden Prozesskammern der Anlage des NBC sind mit vier bzw. sechs Sputter-Quellen bestückt und erlauben damit Schichtsysteme mit bis zu zehn verschiedenen Materialkomponenten. Die Substrate können während der Beschichtung auf bis zu 500°C aufgeheizt werden, um optimale homogene Schichteigenschaften zu erhalten. Die Magnetron-Sputteranlage, die für die Beschichtung von Bruchstücken und Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 4 Zoll ausgelegt ist, stellt eine wesentliche Erweiterung der Probenpräparationsmöglichkeiten des Nano+Bio Center dar.
Das 2003 gegründete Nano+Bio Center ("Zentrum für Nanostrukturtechnologie und Molekularbiologische Technologie") stellt eine zentrale Serviceeinrichtung der TU Kaiserslautern zur Durchführung technisch anspruchsvoller Forschungs- und Technologietransferprojekte dar. Als Service-Center mit überregionaler Bedeutung bietet die Abteilung Nanostrukturtechnologie ein sehr breites methodisches Spektrum der "Front-End" und "Back-End" Halbleitertechnologie an. Die Gerätekompetenz, die das NBC zur Verfügung stellt, wäre für eine einzelne Arbeitsgruppe innerhalb der TU Kaiserslautern finanziell nicht tragbar. Der umfangreiche "state-of-the-art" Gerätepark des NBC umfasst Photo- und Elektronenstrahllithographie und –mikroskopie, sowie die Prozessierung und Analyse von Mikro- und Nanostrukturen sowie Schichtsystemen.
Für weitere Informationen steht Dr.-Ing. Sandra Wolff, Nano+Bio Center, Abteilungsleiterin Nanostrukturtechnologie, zur Verfügung.
Tel.: 0631/205-4091
E-mail: wolff@physik.uni-kl.de
